解析等离子体参数：清洗效率与表面改性的微妙平衡
1、等离子体浓度：等离子体浓度指等离子体中的等离子体密度。较高的等离子体浓度通常可以提高清洗效率和表面改性的速度，因为更多的活性粒子可以与材料表面发生反应。然而，过高的等离子体浓度也可能导致表面的过度腐蚀和损......
2024-04-23
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